FUJI富士工業(yè) CMP化學藥液專用單組分濃度計 FUD-1 Model-13

FUJI富士工業(yè) CMP化學藥液專用單組分濃度計 FUD-1 Model-13

單組分濃度計特點
可實時測量濃度，濃度管理系統(tǒng)構建簡單。模擬DC4-20mA和數字RS232C是標準設備。
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小型、輕量的單元型發(fā)射器可以直接安裝在生產線上。
接液部件材質采用PFA，小產量設計對化學溶液無影響。

優(yōu)點
可實現高精度連續(xù)測量
免維護，無需定期調整或校準
安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整
通過實時輸出輕松反饋流程

目的

• CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度管理等

• 稀釋過程中各種化學品濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗過程中清洗液濃度控制等（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）

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